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ULVAC 愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 現(xiàn)貨 日本

ULVAC 愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 現(xiàn)貨 日本
低溫區(qū)域均熱化(LR系列)
在PVD工藝之外,尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
氦氣密封
通過搭載屏蔽電動機形成密閉結構,非常安全。
瞬停對策
采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。
出色的耐腐蝕性

  • 產(chǎn)品型號:LR180/LR421-T
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-04-26
  • 訪  問  量:237
立即咨詢

聯(lián)系電話:13717025688

產(chǎn)品詳情
品牌ULVAC/日本愛發(fā)科價格區(qū)間2萬-3萬
儀器種類真空泵產(chǎn)品類型無油泵
產(chǎn)地類別進口應用領域化工,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè),建材,綜合
供貨號137.1702.5688

ULVAC 愛發(fā)科 多級羅茨型干泵  現(xiàn)貨 日本

ULVAC 愛發(fā)科 多級羅茨型干泵  現(xiàn)貨 日本


  • 特點

  • 低溫區(qū)域均熱化(LR系列)
    在PVD工藝之外,尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。

  • 氦氣密封
    通過搭載屏蔽電動機形成密閉結構,非常安全。

  • 瞬停對策
    采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。

  • 出色的耐腐蝕性
    主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內(nèi)部的腐蝕。

  • 通信功能
    可讀取與泵運轉狀態(tài)相關的數(shù)據(jù)、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信,則可實現(xiàn)集中監(jiān)控。

用途

  • 成膜裝置(濺射裝置/蒸鍍裝置等)

  • 縮短備料下料室的排氣時間

  • 作為輔助排氣泵(渦輪分子泵、機械增壓泵的輔助排氣)

規(guī)格

型號LR60LR90LR180LR421LR421-T
最大
排氣速度
50Hz62 m3/h
(1030 L/min)
112 m3/h
(1860 L/min)
183 m3/h
(3100 L/min)
440 m3/h
(7333 L/min)
440 m3/h
(7333 L/min)
60Hz80 m3/h
(1333 L/min)
126 m3/h
(2100 L/min)
237 m3/h
(3950 L/min)
到達壓力5.0 Pa
最大排氣壓力 (吸入圧力) 大氣壓
最大排氣口壓力
(排出圧力)
1~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG100
排氣口KF40VG50
質(zhì)量180 kg245 kg335 kg415 kg
電源 *1三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/
380~440 VAC(50/60 Hz)


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