產(chǎn)品中心/ products
ULVAC 愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 現(xiàn)貨 日本低溫區(qū)域均熱化(LR系列)在PVD工藝之外,尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。氦氣密封通過搭載屏蔽電動機形成密閉結構,非常安全。瞬停對策采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。出色的耐腐蝕性
聯(lián)系電話:13717025688
品牌 | ULVAC/日本愛發(fā)科 | 價格區(qū)間 | 2萬-3萬 |
---|---|---|---|
儀器種類 | 真空泵 | 產(chǎn)品類型 | 無油泵 |
產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè),建材,綜合 |
供貨號 | 137.1702.5688 |
ULVAC 愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 現(xiàn)貨 日本
ULVAC 愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 現(xiàn)貨 日本
低溫區(qū)域均熱化(LR系列)
在PVD工藝之外,尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
氦氣密封
通過搭載屏蔽電動機形成密閉結構,非常安全。
瞬停對策
采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。
出色的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運轉狀態(tài)相關的數(shù)據(jù)、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信,則可實現(xiàn)集中監(jiān)控。
成膜裝置(濺射裝置/蒸鍍裝置等)
縮短備料下料室的排氣時間
作為輔助排氣泵(渦輪分子泵、機械增壓泵的輔助排氣)
型號 | LR60 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | |
最大 排氣速度 | 50Hz | 62 m3/h (1030 L/min) | 112 m3/h (1860 L/min) | 183 m3/h (3100 L/min) | 440 m3/h (7333 L/min) | 440 m3/h (7333 L/min) |
60Hz | 80 m3/h (1333 L/min) | 126 m3/h (2100 L/min) | 237 m3/h (3950 L/min) | |||
到達壓力 | 5.0 Pa | |||||
最大排氣壓力 (吸入圧力) | 大氣壓 | |||||
最大排氣口壓力 (排出圧力) | 1~ 大氣壓 Pa | |||||
吸氣口 (CE規(guī)格) | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG100 | |||
排氣口 | KF40 | VG50 | ||||
質(zhì)量 | 180 kg | 245 kg | 335 kg | 415 kg | ||
電源 *1 | 三相 | 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) | 180~240 VAC/ 380~440 VAC(50/60 Hz) |
products category
Related articles